Технологии получения образцов молибдена с силицидными покрытиями
Способы синтеза силицидов во многом определяются назначением, структурно-фазовым состоянием, геометрическими и прочими параметрами конечных изделий. При выполнении работы исследовались образцы компо-зиций «молибден - силицидное покрытие», полученные:
• диффузионным насыщением молибдена кремнием из порошковых сред активированным методом;
• диффузионным насыщением молибдена кремнием из порошковых сред вакуумным парофазным методом;
• термическим испарением кремния с конденсацией на молибденовой подложке и вакуумным отжигом для образования силицидов
Силицидные покрытия наносили на плоские образцы листового молиб-дена марки МЧ толщиной 0,5 – 4 мм и размерами 25×25 мм2.
Технологические операции по получению образцов осуществляли в высокотемпературных установках СШВЭ и СШВ, в высокотемпературной воздушной печи, а также в установке ВУП-5.
Вакуумное парофазное силицирование (ВП) проводили в вакуумных печах СШВЭ и СШВ (рис. 2.1), которые имеют мощность 35 и 20 кВт соот-ветственно и предназначены для проведения различных термических про-цессов (отжига, дегазации, спекания и т.д.) в вакууме или в инертном газе при температурах до 2500 0C.
